用途名

使用氣體

使用目的

概   要

IGCC（煤碳?xì)饣瘡?fù)合發(fā)電）

氧氣、氮?dú)?/p>

節(jié)能

對(duì)煤，石油殘?jiān)M(jìn)行氣化，形成一氧化碳和氫的合成氣體，該氣體可作為發(fā)電燃料。氧氣用作局部氧化，氮?dú)庥米鞔祾呒?xì)末煤渣。為了提高現(xiàn)有的煤碳發(fā)電效率，正在開(kāi)發(fā)新技術(shù)。1萬(wàn)m³/h以上的大型空分設(shè)備會(huì)用到。

青色LED

高純度氨、        有機(jī)金屬材料

節(jié)能

用于化合物半導(dǎo)體的自行發(fā)光裝置。與傳統(tǒng)的白熾燈相比有耗電量低，壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。青紅綠三原色通過(guò)白色LED應(yīng)用于家庭用照明，汽車車燈，液晶倒車燈。氣體是LED的基板材料。

晶圓片強(qiáng)制冷卻

氦

降低成本

在半導(dǎo)體，液晶顯示器工藝過(guò)程中，用氦氣將熱處理后的晶圓片，玻璃基板熱置換，從而達(dá)到強(qiáng)制冷卻的效果。可以縮短冷卻時(shí)間，提高各單位時(shí)間，起到降低成本的作用。

準(zhǔn)分子激光器近視矯正手術(shù)

氬、氟、氦、氖

健康

使用準(zhǔn)分子激光器進(jìn)行近視眼手術(shù)。不需用手術(shù)刀，手術(shù)后恢復(fù)較快，安全性高。氣體用于準(zhǔn)分子激光器的振動(dòng)。

臭氧脫臭

氧氣

改善環(huán)境

用臭氧的氧化力，分解有臭成分。被用在食用餐具，上水道，游泳池，水族館等的水凈化上。氧氣PSA被用來(lái)制造臭氧原料。

臭氧鈍化

氧氣

提高品質(zhì)

用臭氧的氧化力，在不銹鋼等金屬表面上形成氧化鈍化膜，在半導(dǎo)體高純度氣體管道內(nèi)防止粒子產(chǎn)生的管道內(nèi)部處理技術(shù)。使用氧氣作為制造臭氧的原料。

臭氧漂白

氧氣

改善環(huán)境

用代替氯化漂白劑的臭氧可以減少造紙排水中有害成分（有機(jī)氯化合物）的產(chǎn)生。由于需要大量的高濃度臭氧，所以要設(shè)置制造臭氧的氧氣發(fā)生器。

汽車空調(diào)新冷媒

二氧化碳?xì)怏w、     新型氟碳

改善環(huán)境

替代溫暖化系數(shù)較高的HFC-134a的代替冷媒。候補(bǔ)的有碳酸氣體和新型氟碳，1234yf。現(xiàn)正在討論將其納入歐洲溫暖化規(guī)定中。

氣體滅火系統(tǒng)

二氧化碳?xì)怏w、     氟碳、氮?dú)狻?/p>

安全，環(huán)境改善

其滅火方法適用于不能用水的地方。在船舶上使用碳酸氣體但是在圖書館等不特定人群進(jìn)出的地方使用氮?dú)狻Ｔ酒鹬饕饔玫柠u素，從保護(hù)臭氧層的觀點(diǎn)看以氮?dú)鉃槭紫蚨栊詺怏w轉(zhuǎn)變。

氣體氮化

氮?dú)狻?/p>

提高品質(zhì)

為了提高金屬部件的耐磨損性，抗疲勞強(qiáng)度，在表面形成氮化膜的技術(shù)。

玻璃熔融

氧氣

節(jié)能，改善環(huán)境

玻璃原料熔解時(shí)氧氣與原料一同吹入，可減少使用燃料，Nox等有害成分排出的技術(shù)。用于液晶或PDP基板的玻璃制造上。伴隨著基板玻璃的大型化，產(chǎn)量的增加，氧氣消費(fèi)量的擴(kuò)大，是繼電爐之后又一個(gè)大型的氧氣應(yīng)用實(shí)例。

氙氣麻醉

氙氣

健康

代替笑氣的氣體麻醉。麻醉力度，鎮(zhèn)痛力度都要比笑氣有優(yōu)勢(shì)。由于成本較高所以未能普及。05年10月在德國(guó)法液空首次得到了市場(chǎng)銷售許可。

氙氣燈

氙氣

降低成本，安全

代替鹵素?zé)簦芊庥须瘹獾臒纛^，被人們用在汽車上，具有較高的亮度，照明時(shí)間長(zhǎng)的特點(diǎn)。從環(huán)境對(duì)策考慮投入市場(chǎng)上的燈頭是不帶水銀的。

功能水洗

臭氧、氫、        二氧化碳?xì)怏w

改善環(huán)境，提高品質(zhì)

在半導(dǎo)體工藝中，傳統(tǒng)的RCA清洗被取代。將臭氧，氫氣碳酸等氣體溶入到水中，能增強(qiáng)氧化，還原的功能。減少硫酸，鹽酸等廢液處理的負(fù)荷，可以有效的控制水的消耗。

下水道硫化氫對(duì)策

氧氣

改善環(huán)境，安全

下水道內(nèi)產(chǎn)生硫化氫，注入氧氣能起到抑制作用。制氧需要小型的PSA。下水道內(nèi)產(chǎn)生的硫化氫不但會(huì)腐蝕水泥，工作人員吸入后嚴(yán)重者會(huì)導(dǎo)致呼吸麻痹而死亡。由于硫化氫會(huì)在嫌氣性氛圍下生成，所以輸送氧氣，可保持良好的需氣性。

低溫粉碎

液氮

提高品質(zhì)

利用液氮的-196℃的極低溫，將物質(zhì)粉碎成極小的技術(shù)。是古典的氣體用途之一，特別是稱為工程塑料的功能性樹脂原料合成上被廣泛利用。

固定式燃燒電池

氫氣

節(jié)能

從09年4月家庭用燃料電池廢熱發(fā)電開(kāi)始商業(yè)化。對(duì)傳統(tǒng)燃料的天然氣，LP氣，煤油進(jìn)行改質(zhì)，生產(chǎn)氫氣，進(jìn)行發(fā)電和熱供應(yīng)（熱水）。現(xiàn)在雖然是以改質(zhì)型為中心生產(chǎn)產(chǎn)品但是如果氫氣基礎(chǔ)設(shè)施健全的話可以直接用氫氣供應(yīng)。

電力機(jī)器絕緣

SF6

改善環(huán)境

作為高壓電力開(kāi)關(guān)的絕緣材料SF6（六氟化硫黃），從溫暖化對(duì)策出發(fā)對(duì)該氣體進(jìn)行回收。還沒(méi)有能夠代替不燃燒，無(wú)毒性的SF6氣體，在設(shè)備溢流時(shí)回收氣體。

干冰鼓風(fēng)清潔設(shè)備

二氧化碳

改善環(huán)境

代替金屬托盤用干冰高速噴射，去除污垢成分的干冰鼓風(fēng)裝置隨著電子部件再生利用的需求而增加。比如說(shuō)復(fù)印機(jī)，可以輕松的去除調(diào)色涂料粉。若用水清洗則需要對(duì)廢液進(jìn)行處理。但用干冰清洗可以省略循環(huán)再生從而提高效率。

太陽(yáng)能電池

硅烷、氫氣、       特殊材料氣體、氮?dú)?/p>

節(jié)能

作為分散型綠色發(fā)電系統(tǒng)的太陽(yáng)能電池，特別是薄膜式太陽(yáng)能電池由于用CVD作基板，所以需要甲硅烷等特殊材料氣體。此外，CIS系化合物太陽(yáng)能電池，使用硒化氫作為原料等又產(chǎn)生了新的氣體應(yīng)用。

PFC對(duì)策

PFC代替氣體

改善環(huán)境

作為地球溫暖化對(duì)策，在半導(dǎo)體，液晶工藝中減少PFC的使用，無(wú)害化中，1、降低使用量，轉(zhuǎn)換到代替氣體。2、通過(guò)除害裝置實(shí)現(xiàn)無(wú)害化。3、回收·再利用的3個(gè)對(duì)策。在克服成本，技術(shù)性課題的同時(shí)，也成為中長(zhǎng)期必須致力的問(wèn)題。

PDP

氙、氖、氦

節(jié)能

代替陰極射線管等離子顯示器通過(guò)氙，氖，氦等稀有氣體的氣密封裝產(chǎn)生發(fā)光的效果。

飛艇

氦

娛樂(lè)，消遣

過(guò)去作為運(yùn)輸工具跨越大陸的飛艇，現(xiàn)以游覽為目的從新開(kāi)放。使用浮動(dòng)在氣體中的氦，飛翔在首都圈和關(guān)西圈的上空。

復(fù)層玻璃

氬、氪、氦

節(jié)能

將2層窗玻璃重合形成復(fù)層構(gòu)造，提高隔熱性，和住宅的節(jié)能性。導(dǎo)熱率低的氪，氬通過(guò)級(jí)別區(qū)分開(kāi)來(lái)。

塑料瓶滾涂

乙炔

提高品質(zhì)

在塑料瓶樹脂表面滾涂碳化氫薄膜，從而提高耐熱性和強(qiáng)度的薄膜滾涂技術(shù)，同樣技術(shù)的被稱作DLC（Diamond like carbon）薄膜，也被用于金屬或樹脂等的零部件上。碳化氫中要使用乙炔。

奶油噴射劑

氧化亞氮

提高品質(zhì)

在奶油的噴射劑上使用氧化亞氮是一種新用法。與二氧化碳?xì)怏w相比不會(huì)破壞味道，泡沫紋理細(xì)膩。05年3月被食品衛(wèi)生法認(rèn)可。用于大型咖啡連鎖店的專用奶油制造機(jī)上。

鎂金屬液保護(hù)氣

SF6替代氣體

安全，環(huán)境改善

可燃性的鎂合金熔融時(shí)用SF6做保護(hù)氣，但是由于溫暖化問(wèn)題開(kāi)發(fā)了代替SF6的保護(hù)氣。大陽(yáng)日酸生產(chǎn)含有氟化酮的「MGShield」產(chǎn)品。此外Central Glass公司，東曹和NEDO共同開(kāi)發(fā)代替氣體。

無(wú)氧化切割

氮?dú)?/p>

提高品質(zhì)

CO2激光切割不銹鋼時(shí)噴射氮?dú)夥乐寡趸?㎜不銹鋼需要30m³/h的使用量。板厚超過(guò)20㎜時(shí)需要200m³/h。通常用LGC供應(yīng)，但有的也用PSA。

氣密性試驗(yàn)

氦、氫

安全、提高品質(zhì)

運(yùn)用氣密性試驗(yàn)可查知?dú)怏w泄漏，提高產(chǎn)品品質(zhì)，伴隨人們對(duì)安全的追求而有所增加。通常使用氦氣，但也有為了降低成本而使用氫和氮的混合氣來(lái)進(jìn)行氣密試驗(yàn)。

逆流系統(tǒng)

氮?dú)?/p>

提高品質(zhì)

在電子部件插件的工序中使用氮?dú)饪刂颇媪鳡t的氣氛。特別是鍍純錫，用氮?dú)饪刂品諊９?yīng)主要靠制氮機(jī)供應(yīng)。

高溫氣體爐

氦

節(jié)能

第二代原子爐。現(xiàn)在正計(jì)劃提取電力以外的原子能。利用高溫試著生產(chǎn)氫。氦作為從原子爐提取熱能時(shí)的冷卻劑被使用。

垃圾熔融

氧氣、氮?dú)?/p>

改善環(huán)境

目的是減少埋拓的垃圾，并控制排氣中二噁英的合成。90年代后半期開(kāi)始應(yīng)用于垃圾處理系統(tǒng)當(dāng)中。氧在1600℃以上高溫燃燒時(shí)，氮?dú)庾鳛闊岱纸獾姆諊鷼怏w可將垃圾分成易燃成分和不易燃成分。地方政府管轄的垃圾站，相繼設(shè)置了該系統(tǒng)。

氧氣艙

氧氣、高壓空氣

健康

氧氣艙內(nèi)充滿高壓空氣，此裝置可以提高放松的效果和康復(fù)效果。作為運(yùn)動(dòng)員的休閑和美容器械被使用。與醫(yī)用高壓氧治療儀有所不同。歸根結(jié)底都是以休閑消遣為目的。

CA氣調(diào)庫(kù)

氮?dú)狻⒍趸?/p>

保證品質(zhì)

加個(gè)低溫儲(chǔ)槽，通過(guò)改變空氣組分，來(lái)延長(zhǎng)蘋果等水果或蔬菜保鮮期的技術(shù)。組分可以調(diào)至大約氮?dú)?0~94%，氧氣5~3%，二氧化碳5~3%。在氮?dú)夤?yīng)上使用PSA或膜分離裝置。

CCS 碳捕獲及儲(chǔ)存

二氧化碳、        氧氣、 氮?dú)?/p>

改善環(huán)境

回收排氣中的CO2，固定到地下的技術(shù)。積極開(kāi)發(fā)火力發(fā)電廠等大量CO2排放源的全球變暖對(duì)策。考慮3種回收方法，即通過(guò)氧氣燃燒法提高排放CO2的濃度，簡(jiǎn)單回收CO2的IGCC法，經(jīng)CO2吸收液進(jìn)行化學(xué)吸收法。氧燃燒、IGCC、是利用氧和氮。另一方面，也在實(shí)施碳固封技術(shù)。就是用壓送方法將二氧化碳封入海底的巖石中或老朽的油田中。

CO2干洗

二氧化碳

改善環(huán)境

二氧化碳溶劑代替石油溶劑，烘干時(shí)可降低能源使用，不需要包括溶劑的廢液處理。但是，使用加壓的二氧化碳需要耐壓容器，會(huì)增加運(yùn)營(yíng)成本。美國(guó)的一些地方正在使用，現(xiàn)在國(guó)內(nèi)也有用此方法干洗高級(jí)衣物。

GTL 天然氣制油

氧氣、氮?dú)?/p>

節(jié)能

將氣體燃料的天然氣液化成像汽油等那樣的技術(shù)。液化后，與LNG相比有運(yùn)輸效率高，儲(chǔ)藏性好的效果。GTL與柴油和燈煤油相比，硫的成分較少，期待著能作為低環(huán)境負(fù)荷燃料被使用。在液化過(guò)程中，使用氧氣進(jìn)行部分氧化，氮?dú)庥脕?lái)防爆置換。天然氣產(chǎn)出國(guó)的GTL生產(chǎn)量是15萬(wàn)桶/天的大規(guī)模，所以氧氣的使用量也是非常的大，10萬(wàn)m³/h等級(jí)的ASU，使用規(guī)模在8~10臺(tái)。

氣囊

氦，氮，氬

安全

汽車的安全設(shè)備，撞擊時(shí)發(fā)出感應(yīng)瞬間彈出氣囊。由于是瞬間膨脹所以需要?dú)怏w的膨脹力。被成為可充氣的蓄氣器充填有氦，氬，氮的混合氣體。從駕駛座，副駕駛座到兩側(cè)，增加了氣囊的安裝部位就會(huì)增加氣體使用量。

食品保溫用干冰

干冰、液化二氧化碳

保證品質(zhì)

為超市和市場(chǎng)上販賣的新鮮食品提供冷藏用的泡打粉和雪花狀的干冰。作為顧客服務(wù)的一個(gè)環(huán)節(jié)迅速的在全國(guó)推廣。同引用水和冰一樣擺放在超市的收銀處。制造干冰需要液態(tài)二氧化碳的LGC。

真空滲碳爐

甲烷、乙炔、丙烷

提高品質(zhì)

為了提高鋼制品的的耐磨損性和強(qiáng)度，在真空爐內(nèi)注入甲烷，丙烷，乙炔等碳化氫氣體達(dá)到滲碳效果的技術(shù)。

貯氫合金

氫氣

節(jié)能，改善環(huán)境

將帶有氫氣性質(zhì)的金屬，放到燃料電池汽車的氫氣儲(chǔ)槽里。問(wèn)題是貯藏量小，做成車載儲(chǔ)罐又過(guò)重。所以正在探索高容量的合金組成。現(xiàn)狀的貯氫合金用途是面向二次電池的電極材料。用于鎳氫電池，該電池用在雙動(dòng)力汽車中。

氫氣·燃料電池汽車

氫氣

節(jié)能，改善環(huán)境

以氫氣作燃料的汽車。有燃料電池車和氫氣馬達(dá)車兩種。總之魅力在于排出的氣體環(huán)保降低公害性。雖然全球汽車行業(yè)都在開(kāi)發(fā)，但能普遍性的降低成本才是關(guān)鍵。氫氣裝入汽車的方法也是課題之一。70MPa超高壓充填和化學(xué)氫化物等被列為候選。氫氣站的開(kāi)發(fā)等高壓氣體供應(yīng)的技術(shù)被有效的利用。

氫氣焊接

氫氣

增產(chǎn)，環(huán)境改善，提高品質(zhì)

氫氣作為鋼板焊接氣代替LP氣。提高焊接速度和控制焊接面不良的發(fā)生。氫氣供應(yīng)不使用汽缸而是使用水分解的氫氣發(fā)生裝置。

輪胎內(nèi)壓保持

氮、氬、氦

節(jié)能，安全

保持輪胎的內(nèi)壓不是空氣而是氮?dú)饣驓澹さ炔换钚詺怏w。穩(wěn)定內(nèi)壓會(huì)使氣體很難泄漏，降低耗油量，對(duì)剎車的效果也好。

除氧

氮?dú)?/p>

保證品質(zhì)，安全

將鍋爐循環(huán)水或食品·飲料的原料水中樣成分除去的技術(shù)。為了防止氧化或保持味道，鮮度，在許多的食品，飲料加工工程中使用。通過(guò)氮?dú)夥謮海コ艽嫜鯕狻?/p>

泵熱式電熱水器

二氧化碳

節(jié)能

使用二氧化碳自然冷媒通過(guò)泵熱式將熱量循環(huán)，應(yīng)用于熱水器的技術(shù)。產(chǎn)品以[ecocute]命名。比直接加熱器更能提高能效。二氧化碳?xì)怏w同氟一樣不會(huì)破壞臭氧層，溫暖化系數(shù)也低所以作為冷媒被使用。

超導(dǎo)電力電纜線

液氦、液氮

節(jié)能

將原有的地下埋設(shè)電纜換成超導(dǎo)電纜。超導(dǎo)電纜能以較少的埋設(shè)面積實(shí)現(xiàn)較大的電力輸送。更新原有電纜的時(shí)期已將至，技術(shù)開(kāi)發(fā)也在蓬勃的開(kāi)展。在實(shí)際應(yīng)用中需要大量的生產(chǎn)液氮冷卻高溫超導(dǎo)電纜，并確立高性能冷凍機(jī)的開(kāi)發(fā)等周邊技術(shù)。

硅熔爐對(duì)流控制

液氦

提高品質(zhì)

生產(chǎn)硅晶片時(shí)，單硅晶提升，利用硅熔爐內(nèi)超電導(dǎo)磁石來(lái)產(chǎn)生強(qiáng)大的磁場(chǎng)，在磁場(chǎng)中生成單硅晶，根據(jù)磁場(chǎng)大小，可以控制硅晶溶液的對(duì)流。為了得到品質(zhì)穩(wěn)定的單硅晶，300㎜晶圓片需要大型的坩堝。磁鐵冷卻使用液氦。

超臨界抽出

二氧化碳?xì)怏w

提高品質(zhì)

是超臨界狀態(tài)的二氧化碳?xì)怏w成流體后提取無(wú)咖啡因咖啡或香料，香味成分等特定成分的技術(shù)。利用二氧化碳的臨界點(diǎn)31℃，70MPa在較容易的條件下達(dá)到超臨界狀態(tài)。

DME 二甲醚

氧氣、氮?dú)?/p>

節(jié)能

作為化妝品或涂料，農(nóng)藥的噴射劑，DME（二甲醚）還用來(lái)做柴油的代替燃料。因硫磺和氫氣成分的含量較少可以成為綠色能源。在DME的合成中，與GTL同樣，氧氣作為部分氧化時(shí)的氧化源，過(guò)程控制則用氮?dú)狻?/p>

工業(yè)氬氣

(Ar2)